Оборудования для эпитаксиального выращивания полупроводниковых гетероструктур методом молекулярно-лучевой эпитаксии (импульсная лазерная абляция и т.д.).
The low energy ion scattering spectroscopy (LEIS) is a powerful method for surface crystal structure and elemental composition analysis of then topmost several layers of the crystal surface, including insulator surfaces.
